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紅外氣體傳感器 半導(dǎo)體行業(yè)薄膜沉積工藝是由四方儀器自主研發(fā)的高性能氣體傳感器，產(chǎn)品基于非分光紅外技術(shù)(NDIR),能夠精確測量半導(dǎo)體等應(yīng)用中產(chǎn)生的WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機臺內(nèi)常見預(yù)留尺寸、法蘭和通訊協(xié)議，可用于半導(dǎo)體沉積和清洗工藝的端點檢測、腔室清理終端檢測,能夠減少清潔時間,節(jié)約成本,提高產(chǎn)量。

紅外氣體傳感器 半導(dǎo)體行業(yè)薄膜沉積工藝是由四方儀器自主研發(fā)的高性能氣體傳感器，產(chǎn)品基于非分光紅外技術(shù)(NDIR),能夠精確測量半導(dǎo)體等應(yīng)用中產(chǎn)生的SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機臺內(nèi)常見預(yù)留尺寸、法蘭和通訊協(xié)議，可用于半導(dǎo)體沉積和清洗工藝的端點檢測、腔室清理終端檢測,能夠減少清潔時間,節(jié)約成本,提高產(chǎn)量。

激光氨氣檢測儀AM5302-EK由四方光電自主研發(fā)，是基于可調(diào)諧半導(dǎo)體激光吸收光譜技術(shù)（TDLAS)的高性能光學(xué)氣體分析儀。窄帶激光光譜吸收技術(shù)對氨氣具有選擇性，不受其它氣體、水汽、粉塵等干擾，可在惡劣工況及復(fù)雜氣體環(huán)境下穩(wěn)定工作。系統(tǒng)配備高性能探頭與特殊工藝處理氣室，在提高檢測精度與靈敏度的同時，也保證了性能的穩(wěn)定性與更長的使用壽命。

低濃度粉塵儀OPC-6510A采用光學(xué)散射原理，可精確檢測并計算單位體積內(nèi)空氣中不同粒徑的懸浮顆粒物的個數(shù)，內(nèi)置四方光電塵源智能識別模塊，具有6L/min大流量的氣體采樣速率，可同時輸出0.3μm、0.4μm、0.5μm、0.6μm、0.8μm、1.0μm、1.5μm、2.0μm、2.5μm、5.0μm、8.0μm、10μm十二個通道的顆粒數(shù)，PM2.5、PM10質(zhì)量濃度。

制氧機鼓風(fēng)機是由四方光電自主研發(fā)的一款直流無刷鼓風(fēng)機，無需外部管道即可改變空氣方向，是定點冷卻高密度設(shè)備的理想選擇。DC9733鼓風(fēng)機采用BLDC電機，選用進口軸承和PBT塑料外殼，具有重量輕、散熱快、噪音低和壽命長的優(yōu)勢。

紅外粉塵傳感器采用光學(xué)散射原理，可檢測室內(nèi)空氣中粒徑在1μm以上顆粒物濃度數(shù)值的變化趨勢，內(nèi)置溫度補償功能，確保在不同環(huán)境條件下都能保持穩(wěn)定的測量性能。

PM1003紅外粉塵傳感器采用光學(xué)散射原理，可檢測室內(nèi)空氣中粒徑在1μm以上顆粒物濃度數(shù)值的變化趨勢；內(nèi)置電磁屏蔽設(shè)計和溫度補償算法，出廠進行濃度標(biāo)定，具有較好的一致性和穩(wěn)定性。

可燃?xì)怏w探測器JT-AM5301-JG是一款安裝在廚房等可能發(fā)生燃?xì)?CH4)泄漏場所的氣體報警器，當(dāng)空氣中的燃?xì)鉂舛瘸^設(shè)定值時探測器會觸發(fā)報警功能，并對外發(fā)出聲光報警信號。若設(shè)備連接報警主機和接警中心則可聯(lián)網(wǎng)報警,同時關(guān)閉燃?xì)夤艿篱y門；還可通過手機APP實時監(jiān)控，在超過報警濃度后APP會及時彈窗報警信息，保障生命和財產(chǎn)安全。